Waferfertigung

KUKA Systems bietet ein umfangreiches Programm zur Herstellung von Wafern. Kernprodukt der Lösungen ist die AWSM 3800 basierend auf einer kontinuierlichen Weiterentwicklung mit über 20 Jahren Erfahrung im Bereich Silizium-Verarbeitung. Sie zeichnet sich durch besonders geringen Material- und Energieverbrauch bei sehr hoher Qualität aus. Zusätzlich bietet KUKA Lösungen vom Ingot-Handling bis zum Wafer-Handling an.
Neben Automationslösungen für Ihre existierende Fertigung bieten wir auch maßgeschneiderte Produktionsanlagen von der Ingot-Herstellung bis zum Wafer an. Hierzu gehört auch die Integration eines MES-Systems und einer Prozessüberwachung.