Advanced Wire Saw Machine

AWSM 3800.6 ist eine vollautomatische Drahtsägemaschine zum Schneiden von Wafern aus Ingots aus harten und teueren Werkstoffen wie Silizium, Germanium, GaAs, InP und weiteren AIII-BV oder AII-BVI Werkstoffen, Glas, Keramik, Ferriten usw.

Die Bauart der Maschinen verkörpert hochentwickelte Methoden zur Verbesserung der Stabilitätsparameter und der Lebensdauer der Teile, die höheren Belastungen ausgesetzt sind (Lager, Wellen, Drahtführung usw.).

Merkmale und Vorteile

• Hohe Leistung bei geringen Betriebskosten
  
• Hohe Qualität der Wafer-Oberfläche
  
• Länge und Breite der Ingots (14" bzw. 2 x 156 mm)
  
• Vollprogrammierbare Steuerung
  
• Sägesuspension basierend auf Öl oder Glykol
  
• Automatische Lokalisierung nicht schneidbarer Körper
  innerhalb der Blöcke (Einschlüsse usw.)
  
• Geringer Verbrauch von Betriebsstoffen
  
• Ferndiagnose
  
• Geschlossene Kühlkreisläufe
  
• Lade- und Entladevorrichtung
  
• Kundenspezifische Technologie
  
• Kundenspezifische Tischvorschub- und Sägesuspensionsflussprofile

• Produktionskapazität (Beispiel)
  Der Ausstoß ist abhängig von der Länge und dem Durchmesser des Bricks, der gewünschten Dicke des Wafers, dem Drahtdurchmesser, dem Tischvorschub und der Vorbereitungszeit.
  • Ingot: FSQ 156x156 mm, 1200 mm Länge
  • Waferdicke: 200 µm
  • Wire: 120 µm
  • 3.582 Wafer pro Runde